半导体设备的核心零部件主要可以按其功能和结构特点进行分类，并且它们通常具备高精度、高洁净度、强耐腐蚀性以及承受高电压等特性。以下是一些主要的分类及其特点：

　　这些核心零部件对整个半导体制造过程的效率、精度和成本控制有着决定性影响。值得注意的是，由于技术门槛高，许多关键零部件目前仍依赖进口，特别是在高端领域，而国内产业正在努力提升自主研发和生产能力。

　　DWI德赢创新致力于实现半导体设备零部件的国产化替代，德赢创新是一家专门从事PFA、PEEK等高性能材料的研发、制造、设计、加工技术密集型制造企业，专门解决各种流体系统问题，提供给客户适配、定制的方案。

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