中科仪申请新型极高真空离子泵多通道高精度集成控制装置与方法专利，能够准确测量离子泵电参数且保护机制完善

　　金融界2024年2月7日消息，据国家知识产权局公告，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“新型极高真空离子泵多通道高精度集成控制装置与方法“，公开号CN117518903A，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是新型极高真空离子泵多通道高精度集成控制装置与方法。所述装置包括：总集成控制单元，用于多通道离子泵集成控制与数据处理；通讯单元1/2/3/4，用于子通道控制单元与集成控制单元数据交换；子通道控制单元1/2/3/4，用于子通道数据处理与保护机制处理；高压输出及信号采集单元1/2/3/4，用于为子通道离子泵工作提供动力源及输出电信号的精确测量。本发明不仅可以集成控制四通道离子泵，还能够准确测量离子泵电参数(电压\电流\真空度)，且保护机制完善、可靠性高，非常适用于需要多通道离子泵同时工作的极高真空系统。

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