气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子、泵体、冷却器等组成，转子在泵腔内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。

　　气冷泵的转子采用渐开线的线型结构，转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的结构，气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，既可单独使用，也可多台串联使用，或与其他真空泵组成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。

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