处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。单位是Torr或Pa。

　　单位m³/h或L/S，是指在一定的压强和温度下，单位时间内真空泵进气口处抽走的气体。

　　表示真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差，单位为L/s。

　　单位kg/h，指泵在正常工作环境下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

　　作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

　　只对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。16

　　用于维持某一真空泵前级压强地域其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

　　在真空系统中，气量很小时，不能有效利用前级泵。为此配备一种容量较小ayx爱游戏体育官方网站的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

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