SDP系列产品是单级直联结构的干式螺杆真空泵。该系列的螺杆真空泵可以应用到一般工业领域内的各种各样的真空处理工艺中,如化学和医药领域的干燥和浓缩处理工艺;尤其是在合成树脂的反应、挤压和蒸馏过程中,因为伴随污染,SDP系列产品更是保持了**佳性能。
●干式螺杆泵在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工ayx爱游戏体育官方网站件免受污染。
●干式螺杆泵在石油化工中的应用,主要是抽取可凝性气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
主营产品:干式螺杆真空泵,水环式真空泵,螺杆罗茨机组,水环罗茨机组,闭式循环机组
本文由:
爱游戏真空泵水泵设备公司提供