干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是: 能在大气压到10-2Pa 的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵, 即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。

　　① 容积式的无油真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa, 抽速为0.01～ 0.04m 3s。

　　② 动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接, 在连续流状态下压缩比较高。爱游戏AYX官网入口登陆网址它是一种粗抽泵, 可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa, 抽速为0.02～0.15m 3s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

　　这些干式泵和油封式机械泵相比, 达到同样的极限压力, 其残余气体成分则全然不同,经分析结果明, 油封泵的残余气体, CnHm 气体(碳氢化合物气体)为其主要成分, 而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

　　有些干式泵在结构设计上, 如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油, 也有用合成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在, 严格来说不是全无油的泵, 但经分析, 这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。

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