干式双螺杆真空泵是一种容积式无油真空泵，具有结构紧凑，抽速大，真空度高，可直排大气，使用寿命长，自吸能力强，无易损件，运转可靠，维修维护方便，动平衡性好，振动小，无压力脉动与噪音，可高速平稳的一作，适应性强，还可用于多相混输，无喘振现象，易于实现连续排气等诸多优点，因此厂泛的应用于冶金、电子、化学、食品、医药、环保等工业生产部门。国外已发展出诸多此类真空泵产品，而在我国的发展却相对落后。虽然我国对无油真空泵的需求日益增长，但是许多跨国公司的真空泵产品却在我国的高端真空泵市场中占据了主导位置。因此，自行研究经济可行、运转可靠的无油真空泵意义可见一斑。为了适应我国开发研究生产螺杆真空泵的需要，本文对双螺杆真空泵的设计型线组成问题等内容进行了的研究与探讨。

　　1905年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液、润滑剂、密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说20世纪是有油线世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体一起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子、化学、冶金、医疗、核聚变领域以及宇航、新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内线]。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生一些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的一些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类(湿式泵)，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理、化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如:膜式泵，真空度不高，抽速小;吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了双头干式泵不适宜大工业的应用。

　　另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵、水喷射泵、水环泵、水环-罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。

　　①可靠性高。螺杆式双头干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

　　螺杆泵属容积式转子泵。无论是什么类型的螺杆泵，其输液原理都是:利用螺杆泵的转子与转子之间的和转子与定子之间形成的密封腔，在泵运转时使密封腔连续不断地由入口向出口移动，从而排出流体。如果螺杆泵内两个相邻密封腔间没有理论泄漏通道，则被称为严格密封型螺杆泵;反之，则为非严格密封型螺杆泵。一般所说的螺杆泵并一非干式螺杆泵，而是由油润滑和密封的泵类。而干式螺杆泵也不是完全无油的，其同步齿轮仍需要采用油润滑，但这井不影响其特性。

　　干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵、爪型泵、祸旋泵、往复活塞泵、螺旋泵等.表是几种典型的干式泵性能的比较.

　　常见的泵可以分为容积式泵和动力式泵两大类。容积式泵包括往复泵、转子泵和齿轮泵等，离心泵和轴流泵等则属于动力式泵。本文所研究的双螺杆泵属于容积式泵，它与离心泵、往复泵、齿轮泵、滑片泵等相比较，在某些方面具有明显的优越性。

　　螺杆泵的适用范围被泛的应用于海上平台工程、石油化工、航运、电力、机械、液压系统、食品、造纸、制糖、军厂、医药、造船、机床、采矿、环保和污水处理等各种工业部门当中，发挥了巨大作用，具有很高的使用价值。螺杆泵特点是:流量平稳，压力脉动小，能够自吸，噪声低，效率高，使用寿命高，工作可靠。此外螺杆泵还具有结构简单，零件少，体积紧凑，重量轻等一系列特点。而螺杆泵在工作时最为突出的优点是输送介质时不会形成涡流、可输送粘度范围宽的各种介质，对输送介质不敏感，既可以输送各种枯度的润滑性或腐蚀性介质，也可以输送各种粘度的非牛顿液体，特别是有的双螺杆泵还可以输送气液棍合物，这对油田输送成分复杂的原汕具有重要意义。夸张的说，螺杆泵可以输送任何介质。目前在许多领域螺杆泵己经逐步取代齿轮泵、离心泵等，产生了很高的价值，正是由于螺杆泵具有以上特点，人们才将其应用范围进一步扩大到了真空产业。

　　尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内一些公司正在使用的螺杆型双头干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三、四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这一现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型双头干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。

　　螺杆泵按螺杆数目通常分为单、双、三三和五螺杆泵，各有优缺点，在应用时必须根据所需要求进行合理的选择才能充分利用其各白特点，更好的实现I}能、节材、增效益或满足某种特殊应用要求。而通常所说的干式螺杆泵都是指双螺杆泵，也有一部分干式螺杆泵产品为单螺杆泵。

　　自从第一台工业上可运行的双头干式泵1984年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后养笋般迅速发展起来，其中以日本、美国、法国、德国最为先进。美国Varian（瓦里奥)公司生产的DVP系列产品，其真空度可以达到 Pa，这是目前报道的单级双头干式真空泵中真空度最高的产品之一。而德国Sterling SIHI公司在1997年研制成功的SIHIdry是世界上第一台直正意义上的双头干式真空泵，它能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获德国“1998年年度技术革新奖”。以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它们同时也是无油真空泵的典型产品。

　　螺杆式双头干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等 。应用范围极为广泛。

　　双头干式螺杆真空泵是双头干式泵家族中的一员。所谓双头干式真空泵，一般认为是能在大气压到 Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。

　　双头干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干式泵。

　　③动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

　　④适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

　　⑤多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉爱游戏尘、可凝性蒸汽等多种气体。

　　一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。①清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气；②中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物；③恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物（有毒甚至致癌）及固体颗粒物。